Сверхчувствительный оптический MEMS датчик

Интерферометрический волоконно-оптический микроэлектромеханический системный датчик служит для оперативного обнаружения акустических волн, генерируемых частичными разрядами внутри высоковольтного трансформатора. По сути, датчик изготовлен в соответствии с интерференцией Фабри Перо, которая реализуется в прямоугольной кремниевой мембране, изготовленной посредством микромеханической обработки и служащей в качестве элемента, чувствительного к давлению. Для контроля отклонения мембраны использовалась волоконно-оптическая схема считывания. Приводится описание конструкции датчика, технологии изготовления, характеристики и применение для оптического обнаружения частичных разрядов.